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  • Name: DGL XY
  • Explain: 悬臂式DGL XY 平台
  • 悬臂式DGL XY 平台,采用雅科贝思标准模组DGL组成。

 

设计特点:

A. 无铁芯直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 悬臂式结构
 
悬臂式DGL XY平台,采用雅科贝思标准模组DGL组成。具有良好的刚性性能,以及良好的定位精度。

 

模组配置

模组 运动轴 电机型号 有效行程 运动总质量 总质量 传感器限位 硬限位
(mm) (Kg) (Kg) (mm) (mm)
DGL180 上轴 AUM3-S2 200-300 查看表2 查看表3 行程+4 行程+20
AUM3-S3
AUM3-S4
DGL200 下轴 AUM4-S2 200-600 A B 行程+4 行程+20
AUM4-S3
AUM4-S4

A=表格2(下轴)+表格3+6.12(连接块质量,Kg)

B=A+表格4

 

轴运动质量

滑架尺寸 S2 S3 S4
上轴 2 2.5 2.7
下轴 2.4 3.1 3.4

 

上轴的总质量

有效行程/上轴质量(g) 200 300
电机线圈尺寸S2 17.04 20.44
电机线圈尺寸S3 18.26 22.94
电机线圈尺寸S4 20.74 23.24

 

下轴的总质量

有效行程/下轴质量(g) 200 300 400 500 600
电机线圈尺寸S2 16.4 19.8 22.3 25.7 29.1
电机线圈尺寸S3 18.9 22.3 24.9 28.3 31.7
电机线圈尺寸S4 20.1 22.6 26.1 29.5 32

 

性能参数

规格参数 单位 DGL180 DGL200
1直线度 μm ±3μm/25mm ±3μm/25mm
NTE±10μm/300mm NTE±10μm/300mm
1平面度 ±3μm/25mm ±3μm/25mm
NTE±10μm/300mm NTE±10μm/300mm
重复精度(1μm分辨率) ±3 (40μm光栅栅距) ±3 (40μm光栅栅距)
重复精度(0.5μm分辨率) ±1.5 (20μm光栅栅距) ±1.5 (20μm光栅栅距)
重复精度(0.1μm分辨率) ±1 (20μm光栅栅距) ±1 (20μm光栅栅距)
重复精度(模拟量) ±5 counts ±5 counts
X-Y正交性 Arc-sec 10 10

注:所有的测量数据基于模组安装在平面度为5μm的花岗岩台面上。

1 电机线长度是在下轴滑架安装之后测量所得