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  • Name: DGL XY
  • Explain: 无尘室外壳DGL XY 平台
  • 无尘室外壳DGL XY 平台, 采用雅科贝思无尘室盖板标准模组DGL组成。

 

设计特点:

A. 无铁芯直线电机直驱
B. 高精度以及精准回零
C. 无尘室盖板
 
无尘室外壳DGL XY 平台, 采用雅科贝思无尘室盖板标准DGL模组组成。具有良好的刚性性能,以及良好的定位精度。适用于无尘室环境。

 

模组配置

模组 电机型号 有效行程 运动质量 总质量 传感器限位 硬限位
(mm) (Kg) (Kg) (mm) (mm)
DGL200 上轴 AUM4-S2 300 3.1 29 304 320
AUM4-S3 300 3.4 29 304 320
下轴 AUM4-S3 300 24.9 103 304 320
AUM4-S4 300 26.1 103 304 320

 

注:花岗岩的质量大约240Kg.

 

性能参数

规格参数 单位 DGCR 300 DGCRS 300
1直线度 μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm ±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
1平面度 ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm ±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm
重复精度(1μm分辨率) ±3 (40μm光栅栅距) ±3 (40μm光栅栅距)
重复精度(0.5μm分辨率) ±1.5 (20μm光栅栅距) ±1.5 (20μm光栅栅距)
重复精度(0.1μm分辨率) ±1 (20μm光栅栅距) ±1 (20μm光栅栅距)
重复精度(模拟量) ±5 counts ±5 counts
X-Y正交性 Arc-sec 10 10

注:所有的测量数据基于模组安装在平面度为5μm的花岗岩台面上。