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产品中心
  • Name: TDS-XY 系列
  • Explain:
  • TDS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能,支持更长长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线,是半导体行业的理想选择。

 

设计特点:

A. 下轴使用三根导轨,支持更长长行程的上轴

B. 使用定制的带气管紧凑排线

 

性能参数 单位 L U
有效行程 mm 500 500
额定负载 Kg 20
空载运动质量 Kg 40 7
最加大速度 m/s2 10 10
最大速度 m/s 1 1
电机型号 - AUM5-S3 AUM4-S3
持续推力 N 295 166
峰值推力 N 2122 936
编码器参数 μm 0.05/0.5/SINCOS 0.05/0.5/SINCOS
最小机械步长 μm 0.5 0.5
重复定位精度 μm ±1.0 ±1.0
绝对定位精度 μm ±10.0 ±10.0
直线度 μm ±10.0 ±10.0
平面度 μm ±10.0 ±10.0
横摆角 arc sec ±10.0 ±10.0
俯仰角 arc sec ±10.0 ±10.0
正交性 arc sec 10.0
空载平台总质量 Kg 350

注:

1.此参数表是此种类型平台的典型值。

2.请联系我们获取更多选项。