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APS 工作台

APS高精度工作台是专为光子学应用而设计,由Akribis高性能无铁直线电机驱动。

 

产品特性

 

* 配套ACS 专业高精度控制器,实现静态抖动(jitter)值≤±25nm,让耦合更稳定;

* 配备绝对值编码器,1nm光栅分辨率,重复定位精度≤±100nm,绝对定位精度(位置误差补偿后)≤±350nm;

* 高速寻光,每轴速度≥350mm/s,加速度≥1g,让找光、寻光更快,效率更高;

 

 

技术参数

 

  单位 下轴 上轴 Z轴
行程 mm 110 110 60
定位精度(补偿后) nm ±200 ±300 ±300
分辨率 nm 1 1 1
重复度 nm ±100 ±100 ±100
直线度 μm ±1.5 ±1.5 ±1.5
平面度 μm ±1.5 ±1.5 ±1.5
俯仰角 arc sec 10 15 15
侧倾角 arc sec N/A N/A N/A
偏摆角 arc sec 10 15 15
正交度 arc sec 10 10 10
最大速度(无负载) mm/s 350s 350 350
最大加速度(无负载) G 1 1 1
最大推力(持续力) N 57 26.4 26.4

注:

① XY轴的最大速度以及最大加速度只在没有Z轴以及负载条件下测得。

② Z轴的最大速度以及最大加速度只在负载条件下测得。

* 所有参数基于工装于5μm平面度的大理石基座上测得。

* 重复度只在温控小于±0.1℃条件下有效。

 

尺寸图