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AFXS 工作台

用于晶圆、蓝宝石检测,由Akribis高性能无铁芯直线电机驱动;

 

产品特性

* XY轴采用交叉滚柱导轨,中空结构;

* 内置光栅系统,分辨率50nm,重复定位精度可达±0.75μm,绝对定位精度2μm;

* 有效行程 200x200 mm,最大速度200mm/s;

* 可定制;

 

 

 

技术参数

  单位 X轴 Y轴
行程  mm 200 200
分辨率  nm 50 50
定位精度  μm ±2 ±2
重复度  μm ±0.75  ±0.75
平面度  μm ±3.5
直线度  μm ±3.5
最大速度  mm/s 200
建议负载重量 Kg < 4
中空尺寸 mm 288 x 288
XY轴正交度 arc sec 10

 

尺寸图