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DGE 工作台

 

产品特性

* 一体式外壳 * 直线电机定位系统 * 模块化设计
* 安装简快捷 * 搭配新型电机 * 性价比高

 


技术参数

  单位 AQM30-B1 AQM30-B2 AQM50-B1 AQM50-B2
持续推力,Fc N 75.9 151.9 126.6 60
峰值推力,Fp N 191.4 382.7 318.9 637.9
行程 mm 100-1200
分辨率 μm 0.1 / 0.5 / 1.0 / Analogue 1 Vpp
重复精度(1.0μm μm ±3.0
重复精度(0.5μm) μm ±1.5
重复精度(0.1μm) μm ±1.0
重复精度(Analogue) μm ±5
直线度  μm ±3μm / 25 mm,NTE±5μm / 300 mm
平面度  μm ±3μm / 25 mm,NTE±5μm / 300 mm
最大轴承载荷 N 3944
建议最大侧倾力矩 Nm 213
速度(分辨率1.0μm m/s

12(20μm 栅距在 10MHz 时钟频率下)

速度(分辨率0.5μm) m/s 12(20μm 栅距在 10MHz 时钟频率下)
速度(分辨率0.1μm) m/s 4(20μm 栅距在 10MHz 时钟频率下)

 注:

① 根据不同的细分分辨率下,最终重复精度会有不同。

② 所有测量数据都基于模组安装在5微米平面度的大理石上。

③ 使用ABI51编码器

 

 尺寸图